プラズマ切断コントローラーの構造

プラズマ切断コントローラーは主に次のコンポーネントで構成されます。

高周波電源: 高周波電場を生成するために使用されます。-

マッチング ネットワーク: プラズマ チャンバー内の高周波電場の分布を調整するために使用されます。-

プラズマチャンバー:​​ ガス分子をイオン化し、プラズマを生成するために使用されます。

真空システム: プラズマ チャンバーの真空レベルと安定性を確保します。

制御システム: プラズマパラメータを制御し、プラズマの電気的特性の安定した制御を実現するために使用されます。